超聲波發(fā)生器（或稱功率源）是一種用于產(chǎn)生并向超聲波換能器提供超聲波能量使之工作于諧振頻率的裝置，根據(jù)其激勵方式可分為兩種：一種是他激式，一種是自激式。他激式超聲波發(fā)生器主要包括兩個部分：前級是信號發(fā)生器，后級是功率放大器，一般通過輸出變壓器耦合，將超聲波能量加到超聲波換能器上。自激式超聲波發(fā)生器則將信號發(fā)生器、功率放大器、輸出變壓器及超聲波換能器連成一個整體，構(gòu)成一個閉環(huán)回路，使整個超聲波發(fā)生器通過幅度、相位反饋，產(chǎn)生足夠的功率，使超聲波換能器自動保持諧振在機(jī)械共振頻率上。

隨著科技的日新月異，電力電子器件的發(fā)展非常迅速，迄今為止，已經(jīng)發(fā)展出很多不同原理、不同特性的電力電子器件。一件器件決定一代電力電子技術(shù)，超聲波發(fā)生器的發(fā)展同樣離不開電力電子器件的發(fā)展，并在一定程度上是隨著其發(fā)展而發(fā)展的。依據(jù)超聲波發(fā)生器末級功放管所采用的器件類型，可看出其發(fā)展所經(jīng)歷的幾個階段：

1.早期的產(chǎn)品是采用電子管，然后發(fā)展到可控硅逆變式超聲波發(fā)生器，它們?nèi)秉c很多，都已經(jīng)被淘汰。

2.晶體管式超聲波發(fā)生器。各種OCL及OTL功放級電路均適用于超聲波發(fā)生器，其線路成熟，成本較低，但體積大，質(zhì)量重，很難調(diào)整到超聲波換能器頻率諧振點上，輸出功率受功率管限制，不能達(dá)到理想的效果。不易于采用現(xiàn)代的數(shù)字方式來處理，僅僅在小功率（200W以下）應(yīng)用。

3.功率模塊超聲波發(fā)生器。通過調(diào)節(jié)開關(guān)管的占空比來控制輸出的功率，具有功耗低，效率高，體積小，重量輕，可靠性好，易于采用數(shù)字方式控制。根據(jù)功率模塊所采用的開關(guān)管類型主要有以下兩種：

a.使用功率MOS管作為開關(guān)器件，根據(jù)其自身開關(guān)，具有以下優(yōu)點：開關(guān)頻率高（100KHZ-1MHZ），抗擊穿特性好（沒有雪崩效應(yīng)），驅(qū)動電路簡單，缺點是導(dǎo)通電阻大，受電流容量的限制，沒有做到滿功率輸出，輸出功率也就不盡人意，應(yīng)用行業(yè)面不寬。

b.使用IGBT作為開關(guān)器件，它應(yīng)用于開關(guān)頻率在20-50khz，功率較大（1500w以上）的超聲波發(fā)生器中。

下表為超聲波發(fā)生器主要性能特點